設備故障診斷系統資訊：低功耗集成MEMS傳感器用于汽車、醫療和消費電子產品

MEMS 技術的發展趨勢主要表現在以下幾個方面: 一是小型化，同時降低功耗。設備故障診斷系統具有緩變信號（如溫度、壓力、轉速、流量等）與動態信號（如振動信號）的數據融合處理功能；具有黑匣子記錄功能；系統滿足車輛振動沖擊環境下的使用要求。電渦流位移傳感器能靜態和動態地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。振動故障診斷監測系統分析范圍20KHz；緩變信號通道不少于32路，16位精度，動態信號通道不少于4路，102.4kS/s；系統變攜，可以自帶電源連續工作4小時。第二，在小型化的同時提高精度。第三，整合與智能化的趨勢。

目前，MEMS傳感器主要應用于汽車、醫療和消費電子領域。

　　應用三大領域發展汽車、醫療、消費電子

傳感器是汽車工業的一個重要應用領域。 每輛車將有40到數百個傳感器，智能汽車的趨勢也將推動汽車市場對傳感器的需求。 其應用方向和市場需求包括防抱死制動系統（ABS）、電子車身穩定程序（ESP）、電子控制懸架（ECS）、電動手制動（EPB）、坡道啟動輔助（HAS）、胎壓監測（EPMS）、發動機防抖、車輛傾角測量和車內心跳檢測等，其中，電子車身穩定程序ESP得到了許多MEMS制造商的高度重視。 由于其主動防滑功能需要更多的傳感器和先進的處理系統，它將推動汽車電子MEMS傳統應用市場的需求。

隨著中國人口老化和醫療保健系統的發展，各種遠程監測和高精度治療設備將越來越多地被引進。醫療保健市場已逐漸成為 MEMS 傳感器應用的另一大市場。MEMS 具有微尺度的特點，可以代替器官移植、微觀檢測，主要發展方向是血管內外科和顱內外科及細胞外科。

MEMS傳感器主要用于消費電子領域，例如運動檢測、導航數據補償、游戲人機接口、電源管理、GPS增強、盲區消除、速度距離計數、其他運動和醫療保健應用等。這些MEMS技術極大地改善了用戶體驗，帶來了全新的電子消費產品。其中，加速度計是該市場最大的應用產品。近年來，陀螺儀發展迅速，已經成為僅次于加速度計的第二大應用產品。

　　MEMS麥克風最近幾年中國一直都是保持著一個很高的增長率。以智能技術手機、平板電腦和超級本為代表，消費企業電子商務市場的飛速經濟發展極大地提高推動著MEMS麥克風產品的需求和社會發展。Yole Developpement的分析研究數據結果顯示：2010年～2016年，MEMS麥克風市場環境總體出貨量將保持23%的水平;據預測，MEMS麥克風出貨量2013年將達到10億顆，2016年將接近20億顆。從具體實際應用服務市場情況來看，在MEMS麥克風可以應用問題最為具有廣泛的手機網絡終端設備市場中，2016年MEMS麥克風的出貨量將接近國際市場需求總量的一半。

除了上述三個領域外，MEMS在工業領域也有許多應用。